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MCT130XY系列
MCT130XY系列由于其一体式的双轴设计,拥有卓越的平面性能和几何特性。由直线电机驱动,配备了刚性、抗蠕变的交叉滚柱导轨,高分辨率位置反馈,现最平滑、最精确的运动。
MCHL系列
MCHL系列由直线电机驱动,配备了高精度高刚性、抗蠕变的交叉滚柱导轨。MCHL针对高动态和高刚度进行了优化,可实现高伺服带宽,同时最大化可用通光孔径并将总体高度保持在最低限度。
APRL系列
APRL系列采用多孔材料作为气浮支撑,具有大尺寸的空气轴承表面,可以产生高刚度和大负载能力,不仅拥有出色的轴向和径向误差运动,而且还有出色的倾斜误差运动。APRL系列直驱旋转平台的设计经过优化,可最大限度地降低平台高度,减少了与“堆叠”相关的误差。
APL210Z系列
APL210Z系列由无齿隙直线电机驱动,其中多孔介质产生均匀的气膜实现运动台无摩擦、无振动的平滑移动。由于非接触式结构,并且系统配有高精度的光栅尺,因此系统的跟随误差相比机械导轨结构有了质地提升,定位精度和重复定位精度得到了显著改善
APL210系列
APL210系列由无齿隙直线电机驱动,其中多孔介质产生均匀的气膜实现运动台无摩擦、无振动的平滑移动。由于非接触式结构,并且系统配有高精度的光栅尺,因此系统的跟随误差相比机械导轨结构有了质地提升,定位精度和重复定位精度得到了显著改善。
HPL410系列
HPL410系列由无齿隙直线电机驱动,采用液体静压技术实现导轨的精密移动,拥有高阻尼、高刚性,以及可实现高低速横移移动的特点,它是实现快速往复振荡运动的最佳方案,低速时无摩擦,无粘滑现象,从而可实现超高定位精度。
APRH系列
APRH系列采用多孔材料作为气浮支撑,可实现高刚度和大负载的能力,不仅具有出色的轴向和径向误差,而且还拥有出色的倾斜误差运动。由此产生的性能明显优于其他旋转空气轴承工作台和主轴,极大有利于需要卓越平面性能的应用。
MARH系列
MARH系列转台采用无框电机驱动,由于电机是非接触式的,因此无需维护电刷或齿轮。转台采用NSK的角接触球轴承作为支撑,安装有增量光学编码器,这使得 MARH系列转台能够以较低的成本,实现稳定的高性能运行。
ARS80系列
ARS80系列采用小孔节流作为气浮支撑,具有大尺寸的空气轴承表面,可以产生高刚度和大负载能力,拥有极低的径向跳动和轴向跳动。ARS80系列经过精密计算,拥有极佳的静态和动态精度。
APOS系列
APOS系列由无齿隙直线电机驱动,其中多孔介质产生均匀的气膜实现运动台无摩擦、无振动的平滑移动。由于采用开式的气浮结构,因此相对于普通的气浮结构更加紧凑,系统配有高精度光栅尺,使其系跟随误差相比机械导轨结构有了质地提升,定位精度和重复定位精度得到了显著改善。
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