APL210Z系列
APL210Z系列由无齿隙直线电机驱动，其中多孔介质产生均匀的气膜实现运动台无摩擦、无振动的平滑移动。由于非接触式结构，并且系统配有高精度的光栅尺，因此系统的跟随误差相比机械导轨结构有了质地提升，定位精度和重复定位精度得到了显著改善
产品特点：
高响应速度
高柔线缆管理
零摩擦配重气缸
多孔介质气浮轴承
纳米级的定位精度
可定制化(可定制陶瓷结构)
高动态性能(截止频率大于100Hz)
分辨率0.1nm，重复定位精度+150nm，定位精度±300nm
关键字: 光学
分类:
气浮垂直运动台
零售价： 100000 元
电话：
地址：
中山市火炬开发区科技东路 39 号之二 103室A卡
产品描述
产品尺寸平面图
机械规格 | APL210Z-50 | APL210Z-100 | APL210Z-150 |
行程 | 50 mm | 100 mm | 150 mm |
绝对定位精度 | ±350 nm | ±450 nm | |
重复定位精度(单向) | ±150 nm | ±200 nm | |
重复定位精度(双向) | ±200 nm | ±250 nm | |
分辨率 | 0.1 nm | ||
直线度 | ±0.4 um | ±0.6 um | |
平面度 | ±0.4 um | ±0.6 um | |
偏摆 | ±1.5 arcsec | ±2 arcsec | ±2.5 arcsec |
俯仰 | ±1.5 arcsec | ±2 arcsec | ±2.5 arcsec |
滚动 | ±1.5 arcsec | ±2 arcsec | ±2.5 arcsec |
正交性 | ±10 arcsec | ±15 arcsec | ±20 arcsec |
平衡气压 | >0.2 Mpa | ||
最大速度 | 200 mm/s | ||
最大加速度(空载) | 0.5 g | ||
最小步进量 | 3 nm | ||
负载能力(水平) | 15 kg | ||
部分移动重量(下轴) | 6.7 kg | ||
平台质量 | 21.5 kg | 25.6 kg | 30.2 kg |
材料 | 阳极电镀铝 | ||
平均使用寿命 | 15000h | ||
备注:
- 默认测试点位置为台面上方25mm，单轴指标、多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;
- 对于更高的需求，需要配备海德汉光栅尺和线性放大器;
- 空载，需配置相应功率的线性放大器，
- 有效载荷规范假定有效载荷以轴为中心;
- 为了确保规范在较长时间内的实现和可重复性，环境温度必须控制在每24小时1℃的变化范围内。
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