APOS系列
APOS系列由无齿隙直线电机驱动，其中多孔介质产生均匀的气膜实现运动台无摩擦、无振动的平滑移动。由于采用开式的气浮结构，因此相对于普通的气浮结构更加紧凑，系统配有高精度光栅尺，使其系跟随误差相比机械导轨结构有了质地提升，定位精度和重复定位精度得到了显著改善。
产品特点：
非接触开式气浮结构
纳米级定位精度
高动态性能(截止频率大于100Hz)
高响应速度
高刚性设计
多孔介质气浮轴承
高柔线缆管理
分辨率1nm，重复定位精度+80nm，定位精度±100nm
可定制化(可定制陶瓷结构)
关键字: 光学
分类:
开式气浮运动台
零售价： 80000 元
电话：
地址：
中山市火炬开发区科技东路 39 号之二 103室A卡
产品描述
产品尺寸平面图
机械规格 | APOS-025 | APOS-050 | APOS-100 |
行程 | 25 mm | 50 mm | 100 mm |
绝对定位精度 | ±100 nm | ±150 nm | ±200 nm |
重复定位精度(单向) | ±50 nm | ±80 nm | |
重复定位精度(双向) | ±80 nm | ±100 nm | |
分辨率 | 1 nm | ||
直线度 | ±0.25 um |
| ±0.4 um |
平面度 | ±0.25 um |
| ±0.4 um |
偏摆 | ±0.5 arcsec | ±0.75 arcsec | ±1 arcsec |
俯仰 | ±0.5 arcsec | ±0.75 arcsec | ±1 arcsec |
滚动 | ±0.5 arcsec | ±0.75 arcsec | ±1 arcsec |
最大速度 | 300 mm/s | ||
最大加速度(空载) | 1 g | ||
最小步进量 | 1 nm | ||
负载能力(水平) | 15 kg | ||
部分移动重量 | 1.9 kg | ||
平台质量 | 4.5 kg | 5.5 kg | 6.4 kg |
材料 | 阳极电镀铝 | ||
平均使用寿命 | 15000h | ||
备注:
- 默认测试点位置为台面上方25mm，单轴指标、多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;
- 对于更高的需求，需要配备海德汉光栅尺和线性放大器;
- 空载，需配置相应功率的线性放大器，
- 有效载荷规范假定有效载荷以轴为中心;
- 为了确保规范在较长时间内的实现和可重复性，环境温度必须控制在每24小时1℃的变化范围内。
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