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ARS80系列
ARS80系列采用小孔节流作为气浮支撑，具有大尺寸的空气轴承表面，可以产生高刚度和大负载能力，拥有极低的径向跳动和轴向跳动。ARS80系列经过精密计算，拥有极佳的静态和动态精度。
产品特点：
高响应速度
无机械接触
具有出色的速度稳定性
出色的误差运动和摆动性能
高扭矩输出、无框直驱电机
可配置双光栅尺读数头设计
采用水冷设计，保证热稳定性
活的配置选项(可定制中空的版本)
径向跳动小于100nm,轴向跳动小于80nm
关键字: 光学
分类:
气浮主轴
零售价： 120000 元
电话：
地址：
中山市火炬开发区科技东路 39 号之二 103室A卡
产品描述
产品尺寸平面图
机械规格 | MARH100 | MARH150 |
台面尺寸 | 1400 | |
光栅刻线 | 11840 | |
转角精度 | ±18 arcsec | |
单向重复精度 | ±8 arcsec | |
双向重复精度 | ±12 arcsec | |
最大速度 | 2000 rpm | |
冷却方式 | 水冷 | |
治具固定方式 | 真空吸盘 | |
额定转矩(空载) | 1.35 N·m | |
最大转矩(空载) | 5.4 N·m | |
分辨率 | 1 arcsec | |
径向跳动 | 80 um | 100 um |
轴向跳动 | 50 um | 80 um |
最小步进量 | 5 arcsec | 5 arcsec |
负载能力(水平) | 15 kg | 10 kg |
负载能力(垂直) | 20 kg | 15 kg |
平台质量 | 56 kg | 62 kg |
材料 | 镀镍合金 | |
平均使用寿命 | 15000h | |
备注:
- 默认测试点位置为台面上方25mm，单轴指标、多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;
- 对于更高的需求，需要配备海德汉光栅尺和线性放大器;
- 空载，需配置相应功率的线性放大器，
- 有效载荷规范假定有效载荷以轴为中心;
- 为了确保规范在较长时间内的实现和可重复性，环境温度必须控制在每24小时1℃的变化范围内。
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