HPL410系列
HPL410系列由无齿隙直线电机驱动，采用液体静压技术实现导轨的精密移动，拥有高阻尼、高刚性，以及可实现高低速横移移动的特点，它是实现快速往复振荡运动的最佳方案，低速时无摩擦，无粘滑现象，从而可实现超高定位精度。
产品特点：
低速无摩擦
高刚性设计
高柔线缆管理
纳米级的定位精度
可定制化(可定制多种行程)
反向移动无机械滚动元件的跳动现象
热稳定性高，主动油循环和冷却设计直接散热
分辨率1nm，重复定位精度±200nm，定位精度±350nm
关键字: 光学
分类:
液体静压导轨
零售价： 150000 元
电话：
地址：
中山市火炬开发区科技东路 39 号之二 103室A卡
产品描述
产品尺寸平面图
机械规格 | APL210-150 | APL210-200 | APL210-300 |
行程 | 200 mm | 300 mm | 400 mm |
绝对定位精度 | ±350 nm | ±500 nm | ±650 nm |
重复定位精度(单向) | ±200 nm | ±300 nm | |
重复定位精度(双向) | ±280 nm | ±400 nm | |
分辨率 | 0.1 nm | ||
直线度 | ±0.35 um | ±0.5 um | ±0.7 um |
平面度 | ±0.35 um | ±0.5 um | ±0.7 um |
偏摆 | ±3 arcsec | ±5 arcsec | ±7 arcsec |
俯仰 | ±3 arcsec | ±5 arcsec | ±7 arcsec |
滚动 | ±3 arcsec | ±5 arcsec | ±7 arcsec |
最大速度 | 500 mm/s | ||
最大加速度(空载) | 0.8 g | ||
最小步进量 | 1 nm | ||
负载能力(水平) | 250 kg | ||
负载能力(偏心) | 150 kg | ||
部分移动重量 | 143 kg | ||
平台质量 | 450 kg | 590 kg | 750 kg |
材料 | 镀镍合金 | ||
平均使用寿命 | 15000h | ||
备注:
- 默认测试点位置为台面上方25mm，单轴指标、多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;
- 对于更高的需求，需要配备海德汉光栅尺和线性放大器;
- 空载，需配置相应功率的线性放大器，
- 有效载荷规范假定有效载荷以轴为中心;
- 为了确保规范在较长时间内的实现和可重复性，环境温度必须控制在每24小时1℃的变化范围内。
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