MCHL系列
MCHL系列由直线电机驱动，配备了高精度高刚性、抗蠕变的交叉滚柱导轨。MCHL针对高动态和高刚度进行了优化，可实现高伺服带宽，同时最大化可用通光孔径并将总体高度保持在最低限度。
产品特点：
高响应速度
高柔线缆管理
纳米级的定位精度
高精度防蠕动交叉滚柱导轨
高动态性能(截止频率大于100 Hz)
灵活的配置选项(可配置单电机的形式)
分辨率1nm，重复定位精度+250nm，定位精度+500nm
关键字: 光学
分类:
一体式XY中空运动台
零售价： 160000 元
电话：
地址：
中山市火炬开发区科技东路 39 号之二 103室A卡
产品描述
产品尺寸平面图
机械规格 | MCHL-150XY | MCHL-250XY | MCHL-350XY |
中空大小 | 180 mm | 270 mm | 330 mm |
行程 | 120 mm | 350 mm | |
绝对定位精度 | ±500 nm | ±650 nm | ±850 nm |
重复定位精度(单向) | ±250 nm | ±350 nm | |
重复定位精度(双向) | ±350 nm | ||
分辨率 | 1 nm | ||
直线度 | ±0.8 um | ±1 um | |
平面度 | ±2.5 um | ±3.5 um | |
偏摆 | ±10 arcsec | ±12 arcsec | ±15 arcsec |
俯仰 | ±10 arcsec | ±12 arcsec | ±15 arcsec |
滚动 | ±10 arcsec | ±12 arcsec | ±15 arcsec |
正交性 | ±12 arcsec | ||
最大速度 | 200mm/s | ||
最大加速度(空载) | 1g | ||
最小步进量 | 10 nm | ||
负载能力(水平) | 20kg | ||
部分移动重量(上轴) | 5.8 kg | ||
部分移动重量(下轴) | 25.5 kg | 48.5 kg | 80.5 kg |
平台质量 | 40.5 kg | 70.4 kg | 112 kg |
材料 | 阳极电镀铝 | ||
平均使用寿命 | 30000h | ||
备注:
- 默认测试点位置为台面上方25mm，单轴指标、多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;
- 对于更高的需求，需要配备海德汉光栅尺和线性放大器;
- 空载，需配置相应功率的线性放大器，
- 有效载荷规范假定有效载荷以轴为中心;
- 为了确保规范在较长时间内的实现和可重复性，环境温度必须控制在每24小时1℃的变化范围内。
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