APRH系列
APRH系列采用多孔材料作为气浮支撑，可实现高刚度和大负载的能力，不仅具有出色的轴向和径向误差，而且还拥有出色的倾斜误差运动。由此产生的性能明显优于其他旋转空气轴承工作台和主轴，极大有利于需要卓越平面性能的应用。
产品特点：
低速无摩擦
高刚性设计
高柔线缆管理
纳米级的定位精度
可定制化(可定制多种行程)
反向移动无机械滚动元件的跳动现象
热稳定性高，主动油循环和冷却设计直接散热
分辨率1nm，重复定位精度±200nm，定位精度±350nm
关键字: 光学
分类:
气浮直驱转台
零售价： 60000 元
电话：
地址：
中山市火炬开发区科技东路 39 号之二 103室A卡
产品描述
产品尺寸平面图
机械规格 | APRH100 | APRH150 | APRH200 |
台面尺寸 | 100 mm | 150 mm | 200 mm |
光栅刻线 | 9000 | 16384 | 23600 |
转角精度 | ±15 arcsec | ±12 arcsec | ±8 arcsec |
单向重复精度 | ±5 arcsec | ±4 arcsec | |
双向重复精度 | ±7 arcsec | ±6 arcsec | |
最大速度 | 800 rpm | ||
最大加速度(空载) | 410 rad/s² | 250 rad/s² | 185 rad/s² |
额定转矩(空载) | 0.4 N·m | 1.35 N·m | 2.5 N·m |
最大转矩(空载) | 1.4 N·m | 5.4 N·m | 10 N·m |
分辨率 | 0.01 arcsec | ||
径向跳动 | 0.3 um | 0.5 um | 0.7 um |
轴向跳动 | 1 um | ||
最小步进量 | 0.2 arcsec | ||
负载能力(水平) | 10 kg | 20 kg | 35 kg |
负载能力(垂直) | 3 kg | 6 kg | 10 kg |
平台质量 | 4.4 kg | 7.5 kg | 13.4 kg |
材料 | 阳极电镀铝 | ||
平均使用寿命 | 25000h | ||
备注:
- 默认测试点位置为台面上方25mm，单轴指标、多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;
- 对于更高的需求，需要配备海德汉光栅尺和线性放大器;
- 空载，需配置相应功率的线性放大器，
- 有效载荷规范假定有效载荷以轴为中心;
- 为了确保规范在较长时间内的实现和可重复性，环境温度必须控制在每24小时1℃的变化范围内。
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