MCT130XY系列
MCT130XY系列由于其一体式的双轴设计，拥有卓越的平面性能和几何特性。由直线电机驱动，配备了刚性、抗蠕变的交叉滚柱导轨，高分辨率位置反馈，现最平滑、最精确的运动。
产品特点：
高响应速度
纳米级的定位精度
防蠕动交叉滚柱导轨
结构紧凑，XY一体化设计
高动态性能(截止频率大于100Hz)
灵活的配置选项(XY可定制不等距行程)
分辨率1nm，重复定位精度+200nm，定位精度+350nm
关键字: 光学
分类:
一体式XY运动台
零售价： 75000 元
电话：
地址：
中山市火炬开发区科技东路 39 号之二 103室A卡
产品描述
产品尺寸平面图
机械规格 | MCT130XY-050-050 | MCT130XY-100-100 | MCT130XY-150-150 |
行程 | 50mmx50mm | 100mmx100mm | 150mmx150mm |
绝对定位精度 | ±350 nm | ±400nm | |
重复定位精度(单向) | ±200 nm | ||
重复定位精度(双向) | ±250 nm | ||
分辨率 | 1 nm | ||
直线度 | ±0.5 um | ±0.7um | ±1 um |
平面度 | ±2 um | ±2.5 um | ±3 um |
偏摆 | ±10 arcsec | ±12 arcsec | ±15 arcsec |
俯仰 | ±10 arcsec | ±12 arcsec | ±15 arcsec |
滚动 | ±8 arcsec | ±10 arcsec | ±12 arcsec |
正交性 | ±10 arcsec | ±15 arcsec | ±20 arcsec |
最大速度 | 200mm/s | ||
最大加速度(空载) | 1g | ||
在位稳定性 | <10 nm | ||
跟随误差 | <10 nm | ||
最小步进量 | 10 nm | ||
负载能力(水平) | 12kg | ||
部分移动重量(上轴) | 0.6 kg | 1.1 kg | 1.5 kg |
部分移动重量(下轴) | 3.8 kg | 4.6 kg | 5.9 kg |
平台质量 | 5.6 kg | 7.4 kg | 9.1 kg |
材料 | 黑色阳极电镀铝 | ||
平均使用寿命 | 30000h | ||
备注:
- 默认测试点位置为台面上方25mm，单轴指标、多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;
- 对于更高的需求，需要配备海德汉光栅尺和线性放大器;
- 空载，需配置相应功率的线性放大器，
- 有效载荷规范假定有效载荷以轴为中心;
- 为了确保规范在较长时间内的实现和可重复性，环境温度必须控制在每24小时1℃的变化范围内。
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